[发明专利]测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种测量装置及测量方法。测量装置包括：质量测量器，测量气体中微粒的质量；湿度改变器，改变质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度；浓度测量器，测量气体中微粒的计数浓度；湿度测量器，在由浓度测量器测量计数浓度的同时，对计数浓度被测量的微粒所接触的气氛的湿度进行测量；以及计算器，计算表示质量关于由湿度改变器改变的湿度的相关性的信息，并且基于该信息、计数浓度以及由湿度测量器测量的湿度来计算气体中计数浓度由浓度测量器测量的微粒的质量浓度。

主权项

1.一种测量装置，包括：箱，从气氛向该箱引入气体；湿度改变器，改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度；质量测量器，测量被引入该箱中的气体中的吸附于安装在该箱中的石英晶体振荡器的表面的微粒的质量；浓度测量器，重复测量气氛中微粒的计数浓度；以及湿度测量器，在由所述浓度测量器测量所述计数浓度的同时，对其计数浓度被测量的微粒所接触的气氛的湿度进行测量；以及计算器，计算吸湿性参数，该吸湿性参数表示由所述湿度改变器改变的该箱中的气体的湿度和收集至该石英晶体振荡器的表面的微粒的质量之间的相关性，并且基于所述吸湿性参数、所述计数浓度以及由所述湿度测量器测量的湿度来计算气氛中的微粒的质量浓度；其中，所述计算器重复计算该吸湿性参数，并且基于所测量的计数浓度、气氛的湿度以及在重复计算该吸湿性参数中紧接计算质量浓度之前计算的该吸湿性参数来重复计算该质量浓度；计算该吸湿性参数的频率低于计算该质量浓度的频率。