[发明专利]一种压阻式真空计及其制造方法有效
| 申请号： | 201510259875.8 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN104819804B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 朱宏伟;杨婷婷;李雪松;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 马佑平,马铁良 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压阻式真空计，其中包括石墨烯传感元件、柔性载体以及导线，所述石墨传感元件中包括石墨烯中空管道。所述柔性载体包覆所述石墨烯传感元件，并将所述石墨烯中空管道密封，所述柔性载体与所述石墨烯传感元件紧密接合，以使所述柔性载体产生形变时，所述石墨烯传感元件随所述柔性载体一同形变。所述导线与所述石墨烯传感元件连接，用于构成监测电流回路。本发明提供的真空计形变能力强、压敏系数高，量程和灵敏度与现有压阻式真空计相比具有显著提升。另一方面，本发明还提供了一种压阻式真空计的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压阻式 真空计 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压阻式真空计，其特征在于，包括：石墨烯传感元件(2)，所述石墨烯传感元件(2)包括石墨烯中空管道(21)；柔性载体(1)，所述柔性载体(1)包覆所述石墨烯传感元件(2)，并将所述石墨烯中空管道(21)密封，所述柔性载体(1)与所述石墨烯传感元件(2)紧密接合，以使所述石墨烯传感元件(2)在所述柔性载体(1)产生形变时随所述柔性载体(1)一同形变；以及，至少两支导线(3)；金属互连(4)，所述金属互连(4)设置在所述石墨烯中空管道(21)的端部，所述导线(3)通过所述金属互连(4)与所述石墨烯中空管道(21)的端部连接。
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