[发明专利]多功能连续式真空等离子体镀膜系统

摘要

本发明涉及多功能连续式真空等离子体镀膜系统，包括放卷装置、收卷装置、真空等离子体镀膜装置和控制装置，其特征在于放卷装置位于真空等离子体镀膜装置的前面，收卷装置位于真空等离子体镀膜装置的后面，三者为独立分体结构；真空等离子体镀膜装置的工件进、出口处各设有防泄气结构；在真空等离子体镀膜装置的工件进口处设有工件末端检测器，工件末端检测器的信号输出端连接控制装置的信号输入端，放卷装置、收卷装置的控制信号输入端各连接控制装置的一个控制信号输出端；卷材从放卷装置送出，经过真空等离子体镀膜装置镀膜后再进入收卷装置，整个过程始终保持卷材工件处于张紧状态。本发明的带状工件的长度不受限制，具有能耗低、洁净、无污染、提高了工作效率等有益效果。

主权项

多功能连续式真空等离子体镀膜系统，包括放卷装置（1）、收卷装置（2）、真空等离子体镀膜装置（3）和控制装置（10），其特征在于：放卷装置（1）位于真空等离子体镀膜装置（3）的前面，收卷装置（2）位于真空等离子体镀膜装置（3）的后面，三者为独立分体结构；真空等离子体镀膜装置（3）的工件进、出口处各设有防泄气结构（4），以阻止工艺气氛外泄；在真空等离子体镀膜装置（3）的工件进口处设有工件末端检测器（8），所述工件末端检测器（8）的信号输出端连接控制装置（10）的信号输入端，控制装置（10）设有若干个信号输出端，放卷装置（1）、收卷装置（2）的控制信号输入端各连接控制装置（10）的一个控制信号输出端，以通过检测工件的末端来控制放卷装置（1）、收卷装置（2）的送料和收料；放卷装置（1）具有承载及输送10‑10000米卷材的结构，收卷装置（2）具有承载及收卷10‑10000米卷材的结构，卷材从放卷装置（1）送出经过真空等离子体镀膜装置（3）镀膜进入收卷装置（2），整个过程保持卷材工件处于张紧状态，形成连续式真空等离子体镀膜系统；在真空等离子体镀膜装置（3）中设有弧电源、支撑架（6）、冷却水进出管道（7）、真空获得设备（11）和工艺气进气管道（12），在真空等离子体镀膜装置（3）的工件进口处设有导带辊（9），带状工件（13）从放卷装置（1）的出口输出，经导带辊（9）进入真空等离子体镀膜装置（3）的工艺段进行镀膜处理，从真空等离子体镀膜装置（3）的工件出口输出到收卷装置（2）；在放卷装置中设有预热，在工艺段设有加热及保温，构成连续式的加热方式，使产品能预热的同时还能一边加热一边镀膜。