[发明专利]单次溅射制备不同成分Ti-Al-N系高温耐磨薄膜的工艺在审
| 申请号： | 201510261232.7 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN104947055A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张晔;刘蓉怡;张子鹏 | 申请（专利权）人： | 常州机电职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单次溅射制备不同成分Ti-Al-N系高温耐磨薄膜的工艺，采用双靶反应共溅射的方法，双靶采用纯金属Ti靶和Al靶，双靶之间相对呈90°对称放置，基体位置沿双靶中心连线位置放置，两靶材与基体之间的角度均为45°，溅射一次，试样台上的硬质合金或陶瓷基体上制备一系列不同成分的薄膜。本发明的有益效果是：采用Ti靶和Al靶双靶磁控共溅射的方法可以有效解决制靶繁杂且成本昂贵的困难；通过改变基体位置方便地控制薄膜的化学成分，使得研究过程大为简化，且有效降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 制备 不同 成分 ti al 高温 耐磨 薄膜 工艺 | ||
【主权项】：
一种单次溅射制备不同成分Ti‑Al‑N系高温耐磨薄膜的工艺，其特征是：采用双靶反应共溅射的方法，双靶采用纯金属Ti靶和Al靶，双靶之间相对呈90°对称放置，基体位置沿双靶中心连线位置放置，两靶材与基体之间的角度均为45°，溅射一次，试样台上的硬质合金或陶瓷基体上制备一系列不同成分的薄膜。
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