[发明专利]一种基于有机聚合物材料的有源复合光波导及其制备方法

摘要

本发明属于聚合物平面光波导器件结构设计及其制备技术领域，具体涉及一种以硅片作为衬底，以有机光放大材料作为波导芯层，以极化聚合物电光材料作为波导包层的有源复合光波导结构及其制备方法。具体是在硅衬底上生长一层下包层，然后通过旋涂、光刻、刻蚀等半导体工艺制备出基于有机光放大材料的光波导芯层，再通过旋涂工艺在波导芯层上面涂覆一层极化聚合物电光材料作为光波导的上包层，最后对波导进行电场极化，进而制备出对光信号同时具有放大和电光调制功能的有源复合光波导。本发明的有源复合光波导结构可以在不增加波导尺寸的基础上实现传统单一波导的多功能化，并且制作方法简单，器件成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。

主权项

一种基于有机聚合物材料的有源复合光波导结构，其特征在于：从下到上，依次由硅片衬底(15)、在硅片衬底(15)上生长的二氧化硅下包层(14)、在二氧化硅下包层(14)上制备的基于有机光放大材料的直波导结构和MZI波导结构的光波导芯层(13)、在光波导芯层(13)上制备的基于极化聚合物电光材料的上包层(12)、在上包层(12)上制备的CPW调制电极(11)组成；MZI波导(132)中间调制区两条直波导分别与CPW调制电极中心电极和其中一根地电极的位置对应。