[发明专利]一种基于电容位移计的直线位移检测装置

摘要

本发明公开了一种基于电容位移计的直线位移检测装置，包括直线位移模块和位移信息采集模块，直线位移模块包括直线导轨、精密驱动单元和动平台，精密驱动单元可驱动动平台沿直线导轨往复运动，位移信息采集模块包括装在动平台上的电容位移计和装在需要检测的运动轴上的电容测头，电容位移计和电容探头彼此正对设置。应用本基于电容位移计的直线位移检测装置进行精度检测时，通过对比机床运动轴运动检的测距离和动平台运动的标准距离便可完成机床的精度检测。本发明能够可实现大尺度精密位移，进行精度检测。同时，采用对称结构，降低环境因素对测量结果的影响。结构简单，操作简便，对使用者要求低，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种基于电容位移计的直线位移检测装置，其特征在于：包括直线位移模块和位移信息采集模块，所述直线位移模块包括直线导轨、精密驱动单元和动平台，所述精密驱动单元可驱动所述动平台沿所述直线导轨往复运动，所述位移信息采集模块包括装在所述动平台上的电容位移计和装在需要检测的运动轴上的电容测头，所述电容位移计和电容探头彼此正对设置，所述直线导轨设有左挡壁和右挡壁，并在所述左挡壁和右挡壁间形成直线导槽，所述精密驱动单元装在所述直线导槽内，所述精密驱动单元包括两个径向伸缩单元和位于两个所述径向伸缩单元之间并与两个径向伸缩单元形成一个整体的轴向伸缩单元，所述径向伸缩单元可沿垂直于所述直线导轨方向伸长或缩短，并使径向伸缩单元的左右两端与所述左挡壁和右挡壁顶紧或分离，所述轴向伸缩单元可沿所述直线导轨方向伸长或缩短，以驱动一所述径向伸缩单元在所述直线导槽内前后运动。