[发明专利]基于喷墨打印技术的在PDMS基底上加工微电极的方法

摘要

一种基于喷墨打印技术的在PDMS基底上加工微电极的方法：首先是PDMS基底的准备，把PDMS单体与固化剂按照质量比10:1混合均匀，除去气泡，将混有固化剂的PDMS均匀倾倒在抛光的硅片表面，然后在恒温箱中放置2小时进行固化；增加PDMS对金属电极的粘附性；利用数字图像处理的方法将原有电极图形中的有效像素部分进行拆分并重新组合，然后按照新图形中的有效像素逐一进行喷印。本发明克服了液滴由于表面张力的作用而导致的电极连续性差的问题，地改善了PDMS表面的疏水特性，提高了加工效率，而且解决了银电极在PDMS表面粘附性差的问题。本发明高效简捷，自动化程度高，加工出的电极在PDMS表面附着性好，质量高。

主权项

一种基于喷墨打印技术的在PDMS基底上加工微电极的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)首先是PDMS基底的准备，把PDMS单体与固化剂按照质量比10:1混合均匀，除去气泡，将混有固化剂的PDMS均匀倾倒在抛光的硅片表面，然后在恒温箱中放置2小时进行固化；2)增加PDMS对金属电极的粘附性，包括：(1)将固化后的PDMS从硅片表面剥离并切割成设定的形状，作为电极加工的基底；(2)将MPTMS与乙醇以体积比1:200混合制成MPTMS的乙醇溶液；(3)将PDMS基底浸泡在MPTMS的乙醇溶液中；(4)将PDMS基底取出清洗吹干后，浸泡于0.1M的盐酸溶液中0.7～1.2小时，取出后用去离子水清洗并空气流烘干；3)利用数字图像处理的方法将原有电极图形中的有效像素部分进行拆分并重新组合，然后按照新图形中的有效像素逐一进行喷印。