[发明专利]用于将材料引入材料处理系统的托架系统在审
| 申请号： | 201510264145.7 | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN104878349A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | J·登普斯特;J·梅纳德 | 申请（专利权）人： | HZO股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于将材料引入材料处理系统的托架系统。在各个特征方面和实施例中，本公开涉及用于容纳并保持前驱物材料的托架系统。托架系统可以用于材料处理系统内以用于在衬底上形成保护涂层。托架系统可以包括包含多个容座的托架。托架系统可以还包括多个杯体，配置每个杯体以可移除地位于托架的容座内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 引入 处理 系统 托架 | ||
【主权项】：
一种用于保持前驱物材料的托架系统，包括：托架，其包括多个区段，所述多个区段中的每个区段包括容座；以及多个杯体，其用于保持前驱物材料，其中所述多个杯体中的每一个杯体配置成位于所述托架的所述多个区段中的一区段的容座内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于HZO股份有限公司，未经HZO股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510264145.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
