[发明专利]一种大行程MEMS探针器件及其制作方法

摘要

本发明涉及一种大行程的MEMS探针器件及其制作方法，包括上下贴合的上衬底（1）和下衬底（2）、电极（5）、弹性折叠梁（6）和探针（7），形成尺寸略大于被其所包围的探针外形尺寸的密封探针通道（3）以及驱动腔体（4），具有与电极（5）和/或驱动腔体（4）对应的通孔，所述探针（7）的两端分别暴露于驱动腔体（4）内及之外的工作环境中；上下衬底之间密封注入工作介质，通过探针两侧环境的压力差实现驱动。本发明采用了采用液压/气压驱动探针的方式，使探针的行程与驱动力无关，且行程和驱动力不再耦合，因此可同时提供超大行程和大驱动力。同时，由于采用MEMS加工工艺和SOI硅片，大大提高了器件的精度和重复性。

主权项

一种大行程MEMS探针器件，其特征在于所述MEMS探针器件包括上下贴合的上衬底（1）和下衬底（2），其中所述下衬底（2）包括电极（5）、弹性折叠梁（6）和探针（7），所述电极（5）通过绝缘层固定于下衬底（2）上，所述探针（7）通过弹性折叠梁（6）与所述电极（5）相连接，悬浮于所述下衬底（2）之上；所述上衬底（1）和下衬底（2）之间形成容纳探针的探针通道（3）、容纳弹性折叠梁（6）的驱动腔体（4），其中所述探针通道（3）与驱动腔体（4）保持连通；所述探针（7）的一端暴露于驱动腔体（4）内，另一端暴露于驱动腔体（4）之外的工作环境中；上衬底（1）具有与电极（5）和/或驱动腔体（4）对应的通孔，上衬底（1）和下衬底（2）之间注入有工作介质。