[发明专利]平面位置量测装置的电容感测单元在审
| 申请号： | 201510266613.4 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN106289045A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 泰普金·麦克尔;泰普金·根迪;巴尔科瓦·亚历山大;斯丽文思凯亚·嘉琳娜;萨特森金·维克多 | 申请（专利权）人： | 大银微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 | 代理人： | 赵郁军,程凤儒 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面位置量测装置的电容感测单元，包含有：一可移动的基体；一感测部，用以对虚拟的一感测轴的一维方向进行感测，具有多数呈长条状的感测电极，概以长轴垂直于该感测轴且相互平行而相隔开来地分设于该基体的一侧平面上，并使各感测电极个别的长轴两端彼此间相隔一不等于180度的夹角。本发明具有亚微米解析度的量测技术，而得以同时测量二维位置，以及相对于一平面的物体所进行旋转的角度，其主要的应用得以平面马达的动子位置量测为例，以测量该动子相对于平板状定子表面的位置与旋转角度。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 位置 装置 电容 单元 | ||
【主权项】：
平面位置量测装置的电容感测单元，其特征在于，包含有：一可移动的基体；一感测部，用以对虚拟的一感测轴的一维方向进行感测，具有多数呈长条状的感测电极，概以长轴垂直于该感测轴且相互平行而相隔开来地分设于该基体的一侧平面上，并使各感测电极个别的长轴两端彼此间相隔一不等于180度的夹角。
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