[发明专利]一种多自由度长行程直线电机有效
| 申请号： | 201510268897.0 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106300874B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 段素丙;陈庆生;季汉川;胡兵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多自由度长行程直线电机，包括沿Y轴方向平行分布的若干个背铁、与所述背铁粘接的若干磁铁阵列和位于所述磁铁阵列之间的线圈，所述线圈沿Z轴方向从所述磁铁阵列一侧延展，还包括位置与所述线圈对应的导磁块，所述导磁块中心线位于所述磁铁阵列沿Z轴的负方向上。本发明提供的多自由度长行程直线电机，通过设置与线圈对应的导磁块，且导磁块位于磁铁阵列中心线沿Z轴的负方向一侧，当直线电机运动时，导磁块受磁铁阵列的作用而产生沿Z轴正向的重力补偿力，以抵消负载产生的沿Z轴方向带来重力，降低线圈沿Z轴正向的推力压力，提高了多自由度直线电机的整体性能，很好地满足了光刻设备的高精度定位要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 行程 直线 电机 | ||
【主权项】：
1.一种多自由度长行程直线电机，包括沿Y轴方向平行分布的若干个背铁、与所述背铁粘接的若干磁铁阵列和位于所述磁铁阵列之间的线圈，所述线圈沿Z向从所述磁铁阵列一侧伸出，其特征在于，还包括位置与所述线圈对应的导磁块，所述导磁块位于所述磁铁阵列中心线沿Z轴的负方向的一侧；所述背铁的数量为3个，沿Y轴负方向依次为第一背铁、第三背铁和第二背铁，所述磁铁阵列的数量为4个，分别设置在所述第一背铁、第三背铁相对应一侧和所述第三背铁、第二背铁相对应一侧；所述相对应设置的磁铁阵列极性相反；所述线圈由若干个沿YZ平面横截面为U型、具有中空结构的线圈沿X轴方向依次排列而成，所述线圈呈一侧开口包设在所述第三背铁外周。
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