[发明专利]一种基于图像处理技术的调焦调平装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于图像处理技术的调焦调平装置及方法，该装置包括从上至下依次排列的掩模、投影物镜、被测工件以及承载所述被测工件的工件台，还包括沿光路传播方向依次排列的光源、第一反射镜、投影狭缝、投影镜组、第二反射镜、成像镜组、第三反射镜、第四反射镜、成像透镜、探测狭缝以及光电探测器，所述投影狭缝与被测工件之间还设有可旋转的玻璃平板。本发明利用玻璃平板转动来水平移动被测工件表面的测量光斑位置，寻找可完整或部分测量出被测区域高度测量值的替代位置，从而推算出被测区域高度测量值。本发明可有效提高调焦调平装置的测量精度与工艺适应性，进而提高成品良率。

主权项

一种基于图像处理技术的调焦调平方法，应用于调焦调平装置中，所述调焦调平装置包括从上至下依次排列的掩模、投影物镜、被测工件以及承载所述被测工件的工件台，还包括沿光路传播方向依次排列的光源、第一反射镜、投影狭缝、投影镜组、第二反射镜、成像镜组、第三反射镜、第四反射镜、成像透镜、探测狭缝以及光电探测器；所述投影狭缝与被测工件之间还设有光路偏转装置，所述光路偏转装置为可旋转的玻璃平板；其特征在于，包括如下步骤：S100：预处理，确定玻璃平板的转动范围和步距；S200：测量处理，根据所述光电探测器得到的3个子光斑图像，计算垂向测量值。