[发明专利]一种二氧化钒低温热致变色薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201510270578.3 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN104805411B | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈支勇;潘清涛;栾晓波;程金树;袁坚;王芮;秦伟 | 申请（专利权）人： | 河北省沙河玻璃技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 054100 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化钒低温热致变色薄膜的制备方法，该方法将基片进行清洗装片后，通过预先沉积一层五氧化二钒作为诱导层，然后在其上通过固‑液诱导生长混合晶向的金红石二氧化钛缓冲层，诱导生长后底层的五氧化二钒移动至顶层，形成结晶的金红石相二氧化钛和五氧化二钒的混合薄膜，再通过还原气氛将顶层的五氧化二钒还原为二氧化钒，最终得到基底/金红石二氧化钛/金红石二氧化钒热至变色薄膜。所得薄膜不仅相变温度接近室温，而且有足够的可见光透过率和红外开关效率，能够满足建筑智能窗、汽车玻璃等场合实际应用的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 温热 变色 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种二氧化钒低温热致变色薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下操作步骤：A.将反应沉积腔抽至本底真空，再分别通入氧气和氩气，氧分压为0‑90％，使工作压力为0.1‑3.0Pa，基片温度为20‑25℃，以高纯金属钒为靶材，采用直流反应磁控溅射技术，在衬底基片上生长五氧化二钒层；B.将衬底升温至400‑500℃，同时继续通入氧气和氩气，氧分压为10％‑90％，使工作压力为0.1‑1.0Pa，以高纯金属钛为靶材，采用直流反应磁控溅射技术，诱导溅射生长金红石二氧化钛层；C.在还原气氛或惰性气氛环境中，进行退火，即得到基片/金红石二氧化钛/金红石二氧化钒热致变色薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北省沙河玻璃技术研究院，未经河北省沙河玻璃技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510270578.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
