[发明专利]一种静电感应器件的制备方法及装置在审
| 申请号： | 201510272739.2 | 申请日： | 2015-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN104992970A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 杨建红;王娇;乔坚栗;闫兆文;肖彤 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | H01L29/772 | 分类号： | H01L29/772;H01L21/335 |
| 代理公司： | 四川君士达律师事务所 51216 | 代理人： | 芶忠义 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电感应器件的制备方法及装置，涉及半导体器件制备，能够大大简化制备工艺程序，降低制备成本，更加适用于批量生产。技术方案要点为：将制备载体进行氧化处理；氧化后所述制备载体进行胶体附着；胶体附着后所述制备载体在栅源同刻掩蔽体的掩蔽下进行曝光；对曝光后所述制备载体中的曝光部分进行刻蚀，使所述制备载体上形成栅区和源区；将定型模板转移到刻蚀后所述制备载体上，进行胶体去除，使所述栅区和所述源区窗口同时打开；在栅刻版的掩蔽下，向打开的所述栅区注入硼离子，在源刻版的掩蔽下，向打开的所述源区注入砷离子；注入离子后的所述制备载体进行外包装。本发明主要用于静电感应器件的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电感应 器件 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种静电感应器件的制备方法，其特征在于，包括：将制备载体进行氧化处理，以便在所述制备载体表面形成氧化保护层；对氧化后所述制备载体进行胶体附着；对胶体附着后所述制备载体在栅源同刻掩蔽体的掩蔽下进行曝光；对曝光后所述制备载体中的曝光部分进行刻蚀，使所述制备载体上形成栅区和源区；将定型模板转移到刻蚀后所述制备载体上，进行胶体去除，使所述栅区和所述源区窗口同时打开；向打开的所述栅区和所述源区分别注入对应离子；在栅刻版的掩蔽下，向打开的所述栅区注入硼离子，在源刻版的掩蔽下，向打开的所述源区注入砷离子；对注入离子后的所述制备载体进行外包装，以便完成静电感应器件的制备。
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