[发明专利]一种平面研磨机三段式压力控制方法

摘要

本发明公开了一种平面研磨机三段式压力控制方法，包括加压和减压过程，预先设定目标压力值、压力上限值、压力下限值、第一至第三步进压力值，采用3段加压、减压方式，使得开始时用较大的步进压力进行加压，快速达到压力上限值，然后用小一点的步进压力进行加压，减缓速度达到压力下限值，最后，采用最小的步进压力进行加压，慢慢匀速达到压力的设定值，减压是加压的逆过程，这种加压、减压方式，使得加压速度快，同时加压精度高，均匀性好，减少对工件的不平衡压力，提高成品率,第三段加压过程还分为小步进压力加压，缓慢加压避免压力过大，精确性低。

主权项

一种平面研磨机三段式压力控制方法，所述平面研磨机包括控制器、采样模块、气缸，所述采样模块包括压力传感器、拉力传感器、到位传感器，所述气缸包括上气缸和下气缸，所述控制器分别与压力传感器、拉力传感器、到位传感器、气缸连接，所述压力传感器设置于研磨机主体的中心位置，拉力传感器设置于上气缸的顶部，到位传感器设置于下气缸的底部，所述下气缸与研磨机的上研磨盘连接，所述压力传感器用于检测上研磨盘对工件的压力，其特征在于：所述三段式压力控制方法包括加压和减压过程，预先设定目标压力值、压力上限值、压力下限值、第一至第三步进压力值，其中，加压过程的具体步骤如下： 步骤1、判断是否有上盘下降到位信号，如果有，执行步骤3，否则，执行步骤2；步骤2、平面研磨机的压力传感器实时检测上盘对工件的压力值；步骤3、根据预先设定的目标压力值及上盘对工件的实时压力值计算压力差值；步骤4、比较压力差值与预先设定的压力上限值，如果压力差值大于压力上限值，上盘对工件的当前压力增加第一步进压力值，否则，执行步骤5；步骤5、比较压力差值与预先设定的压力下限值，如果压力差值大于压力下限值，上盘对工件的当前压力增加第二步进压力值，否则，执行步骤6；步骤6、上盘对工件的当前压力增加第三步进压力值，并判断压力差值是否大于第三步进压力值，如果大于，执行步骤7，否则执行步骤8；步骤7、上盘对工件的当前压力增加第三步进压力的一半；步骤8、重复执行步骤6，直到上盘对工件的当前压力达到预先设定的目标压力值，上盘保持该目标压力值对工件加压；减压过程的具体步骤如下：步骤a、压力传感器实时检测上盘对工件的当前压力；步骤b、根据预先设定的目标压力值及上盘对工件的实时压力计算压力差值；步骤c、比较压力差值与预先设定的压力下限值，如果压力差值小于压力下限值，上盘对工件的当前压力减小第三步进压力值，否则，执行步骤b；步骤d、比较压力差值与预先设定的压力上限值，如果压力差值小于压力上限值，上盘对工件的当前压力减小第二步进压力值，否则，执行步骤c；步骤e、上盘对工件的当前压力减小第一步进压力值；步骤f、重复依次执行步骤1、步骤2、步骤a至步骤d，直到上盘对工件的当前压力等于0，上盘停止。