[发明专利]一种预应力梁压电振子

摘要

本发明涉及一种预应力梁压电振子，包括弹性基板、压电陶瓷和基座，弹性基板包括悬臂连接区、至少一个主悬臂和至少两个副悬臂即第一副悬臂与第二副悬臂，第一副悬臂和第二副悬臂尺寸相同且关于悬臂连接区中轴线对称布置，主悬臂和副悬臂交错布置在悬臂连接区的同侧，压电陶瓷布置在主悬臂表面上，基座包括下基座和上基座，下基座包括主悬臂安装槽和副悬臂安装槽，主悬臂布置在主悬臂安装槽内，副悬臂布置在副悬臂安装槽内，下基座和上基座相对应布置，本发明在微小机械与精密机械中有广泛的应用，相比于传统悬臂梁压电振子来说，振幅更大，共振频率范围更大。

主权项

一种预应力梁压电振子，包括弹性基板(1)、压电陶瓷(2)和基座(3)，其特征在于：所述弹性基板(1)为薄片型结构，所述弹性基板(1)包括悬臂连接区(13)、至少一个主悬臂(11)和至少两个副悬臂(12)即第一副悬臂(121)与第二副悬臂(122)，所述第一副悬臂(121)和第二副悬臂(122)尺寸相同且关于悬臂连接区中轴线(131)对称布置，所述主悬臂(11)与副悬臂(12)交错布置在所述悬臂连接区(13)的同侧；所述基座(3)包括下基座(31)和上基座(32)，所述下基座(31)中与前侧面(315)垂直的上表面布置有沉槽，即主悬臂安装槽(312)和副悬臂安装槽(311)，所述副悬臂安装槽(311)包括第一副悬臂安装槽(3111)和第二副悬臂安装槽(3112)，所述主悬臂安装槽(312)和副悬臂安装槽(311)与所述前侧面(315)贯通且交错布置，所述第一副悬臂安装槽(3111)和第二副悬臂安装槽(3112)尺寸相同且关于下基座中轴线(316)对称布置，所述第一副悬臂安装槽(3111)和第二副悬臂安装槽(3112)的间距与所述第一副悬臂(121)和第二副悬臂(122)的间距相等，所述副悬臂安装槽(311)为矩形且宽度和所述副悬臂(12)宽度相等，所述主悬臂安装槽(312)为矩形且宽度与所述主悬臂(11)宽度相等，所述副悬臂安装槽(311)中与所述前侧面(315)平行的侧面称为副悬臂定位面(314)，所述主悬臂安装槽(312)中与所述前侧面(315)平行的侧面称为主悬臂定位面(313)，所述主悬臂定位面(313)和副悬臂定位面(314)之间的距离不等于所述主悬臂(11)和副悬臂(12)的长度差；所述主悬臂(11)布置在所述主悬臂安装槽(312)内，主悬臂伸出末端面(111)和主悬臂定位面(313)配合，所述主悬臂(11)的下表面和主悬臂安装槽(312)的底面配合连接，所述副悬臂(12)布置在副悬臂安装槽(311)内，副悬臂伸出末端面(123)和副悬臂定位面(314)配合，所述副悬臂(12)的下表面和副悬臂安装槽(311)的底面配合连接；所述上基座(32)为薄片型结构，所述上基座(32)的上表面为矩形且其中第一组对边的间距大于所述弹性基板(1)的宽度，所述上基座(32)上表面第二组对边之一所在的侧面与下基座(31)的前侧面(315)对齐布置；所述压电陶瓷(2)为薄片型结构，所述压电陶瓷(2)布置在所述主悬臂(11)表面上。