[发明专利]一种微探针尖端成形激光加工系统

摘要

本发明公开了一种微探针尖端成形激光加工系统，涉及微探针尖端加工制造领域。该系统主要包括：激光发生模块、光路调节模块、探针位置调整模块、在线监测模块、信号分析处理模块、激光防护模块等；所述的激光发生模块发出的激光，经光路调节模块调节后，汇聚在探针尖端，可对探针尖端进行局部快速加热成形；所述的在线监测模块能够对加工过程进行实时监测，所述的信号分析处理模块通过调节与其连接的功率控制器，控制整个加工过程。本系统可灵活调整热源作用区域的大小和位置，不易导致微探针除尖端以外其他区域的损坏，适合对微小局部区域快速加热，同时加热功率和加热时间容易精确控制，可在短时间内得到理想的探针尖端球形形状。

主权项

一种微探针尖端成形激光加工系统，主要由激光发生模块、光路调节模块、探针位置调整模块、在线监测模块、信号分析处理模块、激光防护模块组成；所述的激光发生模块包括：CO₂激光器(1)、直流电源(2)、功率控制器(3)，所述的CO₂激光器的后端分别连接直流电源(2)和功率控制器(3)，CO₂激光器(1)的前方设有所述的光路调节模块；所述的光路调节模块包括：激光指示器(4)、合束镜(5)、聚焦透镜(6)、激光吸收器(10)，所述的激光指示器、合束镜、聚焦透镜、激光吸收器的中心处在与X‑Y平面平行的同一水平面上，其中激光指示器位于合束镜(5)的右侧，可发射出能量较低且可见的第二激光(14)，所述的合束镜、聚焦透镜和激光吸收器，沿着水平的CO₂激光光轴从左向右依次排列；所述的探针位置调整模块(9)上固定有待加工微探针毛坯(8)，待加工微探针毛坯(8)的位置可通过探针位置调整模块(9)进行调整；所述的在线监测模块为一种显微成像设备(7)，该设备的镜头正对微探针毛坯(8)的尖端，且输出端接入信号分析处理模块(11)中，可将输出信号传输给信号分析处理模块(11)；所述的信号分析处理模块分别与功率控制器(3)和显微成像设备(7)连接，用来控制功率控制器(3)的信号输出和接收显微成像设备(7)的图像信息；所述的激光防护模块为长方体防护玻璃罩(12)，所述的防护玻璃罩由四块CO₂激光专用防护玻璃板构成，罩在整个激光光路经过的区域。