[发明专利]一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置有效
| 申请号： | 201510276304.5 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN106289094B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘虹遥;路鑫超;陈鲁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被位于傅里叶平面的第一光电探测器接收，获得空间频域；根据所述空间频域的能量分布，获得所述纳米颗粒的形貌，解决了现有技术中的检测方法对样品要求严格，扫描时间长，无法快速获得检测结果，需要真空操作，成本高、体积大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 表面 离激元 散射 频谱 检测 纳米 颗粒 形貌 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法，其特征在于，所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；通过所述激发设备在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射，所述激发设备包括光源，所述光源具体为激光器；所述表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被位于傅里叶平面的第一光电探测器接收，获得空间频域；根据所述空间频域的能量分布，获得所述纳米颗粒的形貌。
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