[发明专利]一种光纤及铌酸锂晶片气动加压研磨机构及研磨方法

摘要

本发明公开一种光纤及铌酸锂晶片气动加压研磨机构及研磨方法，包括三维空间定位装置、气动装置与夹持机构。三维空间定位装置的z轴移动机构转接板上接有气动装置，气动装置上安装有夹持机构。光纤铌酸锂晶片通过夹持装置加持，并通过调节滑杆、梁式力传感器与气缸活塞杆相连。三维空间定位装置可实现铌酸锂晶片夹持工具的精确定位及研磨微进给；气动装置可实现研磨压力的改变是一个渐变过程，铌酸锂晶片夹持工具可稳定、快速地实现铌酸锂晶片的夹持。本发明用于实现光纤铌酸锂晶片的研磨过程中研磨压力恒定不变、研磨压力的变化过程为渐变过程，保证研磨后的端面质量以及研磨过程的平稳可靠，同时方便对研磨后的铌酸锂晶片中的光纤端面进行观测。

主权项

一种光纤及铌酸锂晶片气动加压研磨机构，其特征在于：包括三维空间定位装置、气动装置与夹持机构；其中，三维空间定位装置设置于研磨平台上；三维空间定位装置中z轴移动机构中的滑块上安装气动装置；气动装置上安装有夹持机构；通过三维空间定位装置实现气动装置上安装的夹持机构在空间上内任意一点的定位；夹持机构用来夹持光纤及铌酸锂晶片；所述气动装置包括弹簧压出型气缸、气缸支杆、调节机构、z轴移动机构转接板、力传感器与精密旋转台；其中，弹簧压出型气缸的缸体与气缸安装板中安装面螺纹配合固定；气缸安装板用来与z轴移动机构相连；使弹簧压出型气缸的活塞杆垂直于研磨平台；弹簧压出型气缸的活塞杆用来与调节机构相连；所述调节机构具有底板、光轴、顶板、直线轴承与轴承套；其中，光轴为两根，相互平行设置；两根光轴的一端与底板固连，另一端与顶板固连；两根光轴上各套有一个直线轴承，两个直线轴承的外圈固定安装在轴承套内，并通过轴承套将两个直线轴承间的相对位置固定；顶板与弹簧压出型气缸的活塞杆轴线垂直设置；轴承套与z轴移动机构中滑台连接；所述力传感器固定端固定安装在调节机构中底板底面，力感应端安装精密旋转台；精密旋转台旋转端固定安装有夹持机构。