[发明专利]退火氧化设备

摘要

本发明涉及一种退火氧化设备，该设备包括炉体、传送装置、进气装置、加热装置、冷却装置、保温层和控制装置。炉体一端设有进料口，另一端设有出料口，所述炉体包括相互连通的加热区和冷却区，所述冷却区靠近所述出料口；进气装置位于炉体内部并与炉体连通，加热装置和冷却装置均位于炉体外部，控制装置分别与传送装置、加热装置、进气装置和冷却装置连接。硅片经进料口进入炉体，经传送装置自进料口向出料口运动，硅片在炉体内的运动过程中，进气装置不断向炉体内输送氧气，控制装置通过控制加热装置、冷却装置以及传送装置进而调节炉体内的温度和硅片的传送速度，从而完成硅片的退火氧化工艺。硅片在从炉体中传送并输出的同时完成了硅片的退火氧化，减少了操作步骤，节约了生产时间。

主权项

一种退火氧化设备，其特征在于，包括：炉体，一端设有进料口，另一端设有出料口，所述炉体包括相互连通的加热区和冷却区，所述加热区的数量为多个，所述冷却区靠近所述出料口；所述进料口处设有进料挡板，所述出料口处设有出料挡板，所述进料挡板和所述出料挡板均与所述炉体连接；传送装置，位于所述炉体内部，自所述进料口向所述出料口延伸；进气装置，位于所述炉体内部并与所述炉体连通；加热装置，位于所述炉体外部，用于升高所述加热区内的温度，所述加热装置的数量为多个，多个所述加热装置对称地设置在所述炉体外部；冷却装置，位于所述炉体外部，用于控制所述冷却区内的降温速度，所述冷却装置的数量为多个，多个所述冷却装置对称地设置在所述炉体外部；保温层，包覆所述炉体的外壁，并位于所述加热装置和所述冷却装置的外部；以及控制装置，分别与所述传送装置、所述加热装置、所述进气装置和所述冷却装置连接。