[发明专利]MEMS光阀及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201510279014.6 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN104820283B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 曲连杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B27/44 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS光阀及其制作方法、显示装置，该MEMS光阀包括衬底、设置在所述衬底上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述固定光栅包括多个第一电极条，所述多个第一电极条间隔设置以构成光栅结构，所述可动光栅包括多个第二电极条，所述多个第二电极条间隔设置以构成光栅结构，所述第一电极条朝向所述可动光栅的表面和/或所述第二电极条朝向所述固定光栅的表面为非平面状。本发明提供的MEMS光阀，通过将固定光栅的第一电极条以及可动光栅的第二电极条设为非平面状，从而能够增大电极条的面积，当固定光栅与可动光栅之间具有电位差时，能够有效提高两者之间的静电力，进而提高MEMS光阀在暗态与亮态之间的转换速度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种MEMS光阀，其特征在于，包括衬底、设置在所述衬底上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述固定光栅包括多个第一电极条，所述多个第一电极条间隔设置以构成光栅结构，所述可动光栅包括多个第二电极条，所述多个第二电极条间隔设置以构成光栅结构，所述第一电极条朝向所述可动光栅的表面和/或所述第二电极条朝向所述固定光栅的表面为非平面状。
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