[发明专利]激光准同步扫描方法有效
| 申请号： | 201510279970.4 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106277850B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 戈亚萍;蓝科 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/06 | 分类号： | C03C27/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光准同步扫描方法，包括：步骤1：初始化激光准同步装置，并设定工艺参数，该工艺参数包括封装温度、扫描圈数、激光扫描速度、扫描轨迹、封装功率和延迟参数；步骤2：将激光准同步装置的扫描振镜移动至玻璃基板的一个封装单元中心位置；步骤3：运行扫描振镜，接着，启动激光器和高温计；步骤4：对玻璃基板的封装单元进行多圈扫描封装，直至扫描圈数达到预设值，关闭激光器和高温计；步骤5：扫描振镜移动至玻璃基板的下一个封装单元中心位置，重复步骤3‑4。本发明通过多圈扫描封装，可以提高玻璃基板的封装均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 同步 扫描 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光准同步扫描方法，其特征在于，包括：步骤1：初始化激光准同步装置，并设定工艺参数，该工艺参数包括封装温度、扫描圈数、激光扫描速度、扫描轨迹、封装功率和延迟参数；步骤2：将激光准同步装置的扫描振镜移动至玻璃基板的一个封装单元中心位置；步骤3：运行扫描振镜，接着，启动激光器和高温计；步骤4：对玻璃基板的封装单元进行多圈扫描封装，进行第一圈扫描时，将扫描区域分为扫描起始区、直线区和拐角区，进行第二圈至倒数第二圈扫描时，将扫描区域分为直线区和拐角区，进行最后一圈扫描时，将扫描区域分为直线区、拐角区和扫描停止区，所述扫描起始区和扫描停止区部分重合，直至扫描圈数达到预设值，关闭激光器和高温计；步骤5：扫描振镜移动至玻璃基板的下一个封装单元中心位置，重复步骤3‑4。
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