[发明专利]一种高密度ITO靶材的制备方法

摘要

一种高密度ITO靶材的制备方法，其特征是以化学共沉淀法制备的铟锡氧化物粉体为原料，添加由金属氧化物、磷酸化合物或磷氧化物和纳米SiO2组成的烧结剂，采用压滤成型的方法制备坯体，在氧气氛下于1450～1550℃烧结，保温时间为3～10小时，获得相对密度为98.6～99.6％，抗弯强度为112～158MPa的ITO靶材。本发明解决了目前ITO素坯强度小，均匀性差，易变形和开裂的问题，适用于大尺寸、高密度ITO靶材的制备。

主权项

一种高密度ITO靶材的制备方法，其特征是：以化学共沉淀法制备的铟锡氧化物粉体为原料，添加由金属氧化物、磷酸化合物或磷氧化物和纳米SiO2组成的烧结剂，采用压滤成型的方法制备坯体，在氧气氛下于1450～1550℃烧结，保温时间为3～10小时，获得相对密度为98.6～99.6％，抗弯强度为112～158MPa的ITO靶材；采取以下具体步骤制备：(1)以化学共沉淀法制备的铟锡氧化物粉体为原料制备原料粉体，原料粉体中氧化锡的质量含量为5～20％，氧化铟的质量含量为80～95％，粉体纯度不低于99.99％，粉体粒径范围为0.02～1.0μm；(2)在步骤(1)中的原料粉体中加入一定质量比的烧结剂混合，在该混合后的粉体中再加入含有占原料粉体质量比为0.05～0.2％的聚丙烯酸类粘结剂和0.1～0.7％的甲基丙烯酸胺分散剂的水溶液中，用氨水调节pH值至9～11；球磨后得到混合均匀的浆料，然后搅拌，抽真空10～30分钟，除去浆料中的气泡，浆料中原料粉体占固相质量含量为80～90％；(3)将步骤(2)制备的浆料注入多孔模具中，注浆压力为0.8～2.0MPa，模具为树脂材料，具有梯度孔分布，从内到外孔径依次增大；树脂模具表面铺设滤布；在注浆压力作用下将水分通过模具微孔排出，直至体积基本不再变化；(4)脱模干燥，干燥温度为20～80℃，获得的坯体的相对密度为59.2～64.8％；干燥后的坯体在常压纯氧气氛下烧结，温度为1450～1550℃，保温时间为3～10小时，获得相对密度为98.6～99.6％，抗弯强度为112～158MPa的ITO靶材。