[发明专利]电连接结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201510281319.0 | 申请日： | 2015-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN106292094A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张心怡;陈滢璟;曾宪宗;陈珊芳 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1345 | 分类号： | G02F1/1345;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人： | 汪飞亚 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电连接结构。所述电连接结构包括连接垫、连接线以及位于所述连接垫与连接线之间的绝缘层。所述绝缘层对应所述连接垫与连接线的位置开设有连接垫孔。所述连接垫与连接线通过所述连接垫孔电性连接。所述连接垫包括第一金属层与第二金属层。所述第二金属层位于所述第一金属层与所述绝缘层之间。所述绝缘层的材质为所述第一金属层的氧化物。所述连接垫孔是通过一蚀刻液蚀刻所述绝缘层形成的。所述蚀刻液蚀刻所述第二金属层的蚀刻速率低于所述蚀刻液蚀刻所述第一金属层与绝缘层的蚀刻速率。本发明还提供该电连接结构的制作方法。本发明能够提供稳定性好的电连接结构。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电连接结构，所述电连接结构包括连接垫、连接线以及位于所述连接垫与连接线之间的绝缘层，所述绝缘层对应所述连接垫与连接线的位置开设有连接垫孔，所述连接垫与连接线通过所述连接垫孔电性连接，所述连接垫包括第一金属层与第二金属层，所述第二金属层位于所述第一金属层与所述绝缘层之间，所述绝缘层的材质为所述第一金属层的氧化物，所述连接垫孔是通过一蚀刻液蚀刻所述绝缘层形成的，所述蚀刻液蚀刻所述第二金属层的蚀刻速率低于所述蚀刻液蚀刻所述第一金属层与绝缘层的蚀刻速率。
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