[发明专利]多晶硅生产工艺及系统在审
| 申请号： | 201510281392.8 | 申请日： | 2015-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN106276918A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜;陈杰;赵亮 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 015543 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种多晶硅生产工艺，包括将四氯化硅预热成气态后与氢气混合成汽化处理后气体；提供一种氢化反应装置，该氢化反应装置包括串联的多级氢化反应器；将上述汽化处理后气体注入氢化反应装置中，使汽化处理后气体依次通过各级氢化反应器，并分别在其中发生冷氢化反应；向各级氢化反应器中分别添加氯化氢气体，促使在各级氢化反应器中进行的冷氢化反应朝有利于生成三氯氢硅的一方进行，最终产生总反应生成气；从上述总反应生成气中冷凝提炼出三氯氢硅。该工艺可有效提高三氯氢硅的产出率、并且充分利用了总反应生成气的余热，并且，与现有技术相比更加节能、环保。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产工艺 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产工艺，包括以下步骤：将四氯化硅预热成气态后与氢气混合成汽化处理后气体；提供一种氢化反应装置，该氢化反应装置包括串联的多级氢化反应器；将上述汽化处理后气体注入氢化反应装置中，使汽化处理后气体依次通过各级氢化反应器，并分别在其中发生冷氢化反应；向各级氢化反应器中分别添加氯化氢气体，促使在各级氢化反应器中进行的冷氢化反应朝有利于生成三氯氢硅的一方进行，最终产生总反应生成气；从上述总反应生成气中冷凝提炼出三氯氢硅。
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