[发明专利]声波谐振器在审
申请号: | 201510282143.0 | 申请日: | 2015-05-28 |
公开(公告)号: | CN104917484A | 公开(公告)日: | 2015-09-16 |
发明(设计)人: | 杨清华;欧毅;刘杰;赖亚明;吴光胜;陈庆;朱丽娜 | 申请(专利权)人: | 贵州中科汉天下电子有限公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 冯谱 |
地址: | 556000 贵州省黔东南苗族侗族自治州凯*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明提供了一种声波谐振器,该声波谐振器包括:基底;声反射层,该声反射层形成于所述基底的表面或者位于所述基底上,该声反射层的材料是多孔性材料;下电极层,该下电极层位于所述声反射层上;压电层,该压电层位于所述下电极层上;上电极层,该上电极层位于所述压电层上。本发明通过采用多孔性材料作为声反射层,在保证声波谐振器具有良好性能的同时有效地改善了声波谐振器的制造工艺、简化了声波谐振器的结构、降低了声波谐振器的制造成本以及大大地提高了声波谐振器的成品率。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 | ||
【主权项】:
一种声波谐振器,该声波谐振器包括:基底;声反射层,该声反射层形成于所述基底的表面或者位于所述基底上,该声反射层的材料是多孔性材料;下电极层,该下电极层位于所述声反射层上;压电层,该压电层位于所述下电极层上;上电极层,该上电极层位于所述压电层上。
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