[发明专利]静电卡盘、反应腔室及半导体加工设备

摘要

本发明提供了一种静电卡盘、反应腔室及半导体加工设备，静电卡盘包括：第一采集电路，用于采集正电极上的第一信号，并将采集到的第一信号发送至第一峰值检测电路；第一峰值检测电路，用于检测第一信号在正半周或负半周的第一幅值，并将第一幅值发送至处理电路；第二采集电路，用于采集负电极上的第二信号，并将采集到的第二信号发送至第二峰值检测电路；第二峰值检测电路，用以检测第二信号的在负半周或正半周的第二幅值，并将第二幅值发送至处理电路；处理电路，用于将第一幅值和第二幅值矢量叠加并取一半发送至直流电源的电压参考端。该静电卡盘不仅可以避免承载体内和基片背面发生打火，还可以简化静电卡盘的制造过程和降低制造成本。

主权项

1.一种静电卡盘，其特征在于，其包括用于承载基片的承载体和负偏压检测装置，在所述承载体内设置有正电极和负电极，所述正电极和负电极分别与直流电源的正电压输出端和负电压输出端相连，且均与射频电源电连接；所述负偏压检测装置用于检测射频电源产生的负偏压，并将该负偏压发送至所述直流电源的电压参考端；所述负偏压检测装置包括第一采集电路、第二采集电路、第一峰值检测电路、第二峰值检测电路和处理电路，其中所述第一采集电路，用于采集所述正电极上的第一信号，并将采集到的第一信号发送至所述第一峰值检测电路；所述第一峰值检测电路，用于检测所述第一信号在正半周或负半周的第一幅值，并将所述第一幅值发送至所述处理电路；所述第二采集电路，用于采集所述负电极上的第二信号，并将采集到的第二信号发送至所述第二峰值检测电路；所述第二峰值检测电路，用以检测所述第二信号的在负半周或正半周的第二幅值，并将所述第二幅值发送至所述处理电路；所述处理电路，用于将所述第一幅值和所述第二幅值矢量叠加，并取一半发送至所述直流电源的电压参考端。