[发明专利]一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法

摘要

本发明涉及半导体行业冷板单元晶圆承载装置，具体地说是一种承载翘曲晶圆的装置及其承载方法，装置包括气缸、连接臂、吸盘、顶针、缓冲器及缓冲器安装板，连接臂的一端与气缸的输出端相连，由气缸驱动升降，连接臂的另一端连接有缓冲器安装板；缓冲器安装板上设有至少三个缓冲器，每个缓冲器上均安装有内部开有通孔的顶针，各顶针的顶端分别连接有吸附翘曲晶圆的吸盘；缓冲器安装板上安装有真空接入口，真空接入口通过缓冲器安装板内开设的真空流路与各缓冲器相连通，并通过各顶针上的通孔与各吸盘相连通；各吸盘通过缓冲器始终与翘曲晶圆接触，并通过真空接入口接入的真空吸附翘曲晶圆。本发明对翘曲晶圆起到吸附抓取作用，翘曲晶圆不易滑片。

主权项

1.一种承载翘曲晶圆的装置，其特征在于：包括气缸(2)、连接臂(3)、吸盘(4)、顶针(5)、缓冲器(6)及缓冲器安装板(7)，其中连接臂(3)的一端与所述气缸(2)的输出端相连，由该气缸(2)驱动升降，所述连接臂(3)的另一端连接有缓冲器安装板(7)；所述缓冲器安装板(7)上设有至少三个缓冲器(6)，每个缓冲器(6)上均安装有内部开有通孔(12)的顶针(5)，各顶针(5)的顶端分别连接有吸附翘曲晶圆(1)的所述吸盘(4)；所述缓冲器安装板(7)上安装有真空接入口(9)，该真空接入口(9)通过缓冲器安装板(7)内开设的真空流路(10)与各所述缓冲器(6)相连通，并通过各所述顶针(5)上的通孔(12)与各所述吸盘(4)相连通；各所述顶针(5)上的吸盘(4)通过所述缓冲器(6)始终与所述翘曲晶圆(1)接触，并通过所述真空接入口(9)接入的真空吸附翘曲晶圆(1)；所述缓冲器安装板(7)上开有多个调平顶丝安装孔(8)，每个调平顶丝安装孔(8)均安装有调平顶丝，各所述顶针(5)上的吸盘(4)通过该调平顶丝的调整保持同一高度。