[发明专利]一种五自由度镜面调整装置

摘要

一种五自由度镜面调整装置，属于光学镜面装调领域，为了解决现有技术的超高反射率反射镜对安装精度要求高，装调困难的问题，该装置包括固定安装基座方向位置调整台、角度调整台、透镜安装台和透镜，固定安装基座、方向位置调整台、角度调整台与透镜安装台依次共轴设置，角度调整台通过可动角度调整机构安装在位置调整上；当光线调整到经过镜面中心时，镜面的位置调整和角度调整独立；安装精度要求高，装调简单，镜面固定后，调整过程不需要接触镜子，对镜面起到很好的保护作用。

主权项

一种五自由度镜面调整装置，其包括：固定安装基座(1‑1)、第一基座固定机构(1‑2)、第二基座固定机构(1‑3)、第三基座固定机构(1‑4)、第四基座固定机构(1‑5)、y方向位置调整台(2‑1)、y方向可动位置调整机构(2‑2)、x方向位置调整台(3‑1)、x方向可动位置调整机构(3‑2)、角度调整台(4‑1)、ɑ可动角度调整机构(4‑2)、β可动角度调整机构(4‑3)、γ可动角度调整机构(4‑4)、透镜安装台(5‑1)和透镜(5‑2)，其特征是，固定安装基座(1‑1)、y方向位置调整台(2‑1)、x方向位置调整台(3‑1)、角度调整台(4‑1)与透镜安装台(5‑1)依次共轴设置，固定安装基座(1‑1)、y方向位置调整台(2‑1)、x方向位置调整台(3‑1)和角度调整台(4‑1)中心带有通光孔，固定安装基座(1‑1)通过第一基座固定机构(1‑2)、第二基座固定机构(1‑3)、第三基座固定机构(1‑4)和第四基座固定机构(1‑5)安装固定，y位置调整台(2‑1)通过y方向可动位置调整机构(2‑2)安装在固定安装基座(1‑1)上，x位置调整台(3‑1)通过x方向可动位置调整机构(3‑2)安装在y位置调整台(2‑1)上，角度调整台(4‑1)通过ɑ可动角度调整机构(4‑2)、β可动角度调整机构(4‑3)和γ可动角度调整机构(4‑4)安装在x位置调整台(3‑1)上，透镜安装台(5‑1)与角度调整台(4‑1)刚性连接，透镜(5‑2)安装在透镜安装台(5‑1)上。