[发明专利]三维形状测定装置

摘要

本发明提供三维形状测定装置，其具有气动滑块外框、在气动滑块外框内能沿轴向移动的气动滑块中空轴、两个支承臂、两个驱动部及两个支承部。在气动滑块中空轴设有贯通孔，在贯通孔形成有将上端的聚焦光学系统与下端的探测部连结的光路。支承臂从聚焦光学系统、探测部及中空轴的合计的重心的位置的高度处，相对于气动滑块中空轴的中心轴对称地向横向的两侧突出。驱动部在各支承臂的气动滑块中空轴附近的位置处相对于气动滑块中空轴的中心轴对称地配置，且将气动滑块中空轴相对于气动滑块外框沿轴向驱动。支承部配置在各支承臂中比驱动部远离气动滑块中空轴的位置，且相对于气动滑块中空轴的中心轴对称地配置，将各支承臂支承为能够沿横向移动。

主权项

一种三维形状测定装置，其特征在于，具备：气动滑块外框；气动滑块中空轴，所述气动滑块中空轴在上端配置有聚焦光学系统，在下端配置有探测部，所述气动滑块中空轴具有贯通孔，在所述贯通孔形成有将所述聚焦光学系统与所述探测部连结的光路，且所述气动滑块中空轴具有与所述气动滑块外框的中心轴一致的中心轴，所述聚焦光学系统和所述探测部的中心轴配置在所述气动滑块中空轴的中心轴上，且所述气动滑块中空轴配置为在所述气动滑块外框内能够沿轴向移动；两个支承臂，所述两个支承臂从所述聚焦光学系统、所述探测部以及所述气动滑块中空轴的合计的重心的位置的高度处，相对于所述气动滑块中空轴的中心轴对称地向所述气动滑块中空轴的横向的两侧突出；两个驱动部，所述两个驱动部在各所述支承臂的所述气动滑块中空轴附近的位置处相对于所述气动滑块中空轴的中心轴对称地配置，且借助所述两个支承臂将所述气动滑块中空轴相对于所述气动滑块外框沿所述轴向进行驱动；以及两个支承部，所述两个支承部在各所述支承臂中相对于所述气动滑块中空轴的中心轴对称地配置，且支承所述气动滑块中空轴、所述探测部、所述聚焦光学系统以及所述两个驱动部的自重。