[发明专利]一种亚波长反射式一维金属波片及其制备方法有效
| 申请号： | 201510285816.8 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104849791B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王钦华;胡敬佩;李瑞彬;赵效楠;王淼;陈玲华;许富洋;曹冰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B5/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种亚波长反射式一维金属波片及其制备方法，其能够在不同度的波段实现二分之一和四分之一波片的功能，所述波片包括介质光栅和设置在其上的金属层；纳米介质光栅结构设置上一层类光栅金属层，介质光栅的周期为80～350nm,占空比为0.3～0.8，厚度为50～200nm，金属层的厚度比介质光栅厚度30nm以上（层间距大于30nm）。介质层的材料可为SiO2、MgF2、PMMA，金属层为金、银、铝、镉等反射率高的材料。本发明具有结构简单，易于制作等优点，在以后的光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中，具有很大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 反射 式一维 金属 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述波片包括纳米介质光栅及位于所述纳米介质光栅上的金属层；所述金属层与所述纳米介质光栅之间无间隙；所述金属层上表面设有类光栅结构；所述纳米介质光栅的周期为80～350nm，占空比为0.3～0.8，厚度为50～200nm。
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