[发明专利]一种激光封装设备的垂向控制装置及方法

摘要

本发明涉及一种激光封装设备的垂向控制装置及方法，该装置包括大理石底座、基板台、轮廓仪、玻璃基板、龙门架、激光器及多个扫描振镜，基板台内安装有垂向运动执行器，驱动基板台沿垂向运动；龙门架通过龙门架导轨安装于大理石底座上，且龙门架能够在龙门架导轨上沿水平向运动；激光器发射的激光束，经扫描振镜照射到玻璃基板或轮廓仪上；每个扫描振镜侧面均安装有非接触式高度测量传感器，用于测量非接触式高度测量传感器零位与玻璃基板或轮廓仪之间的距离；基板台上还设有基板台高度测量传感器，用于测量玻璃基板与大理石底座间的距离。本发明利用多个扫描振镜并行扫描封装，解决了大尺寸基板封装的垂向控制问题，同时提高了封装的产率和质量。

主权项

1.一种激光封装设备的垂向控制装置，其特征在于，包括：大理石底座，固定于所述大理石底座上的基板台和用于测量激光束光斑大小和光强的轮廓仪，放置于所述基板台上的玻璃基板，所述基板台内安装有垂向运动执行器，驱动所述基板台沿垂向运动；龙门架，所述龙门架通过龙门架导轨安装于所述大理石底座上，且所述龙门架能够在龙门架导轨上沿水平方向运动；用于发射激光束的激光器，固定于所述龙门架上的多个扫描振镜，所述激光器发射的激光束，经过所述扫描振镜照射到所述玻璃基板或所述轮廓仪上；每个所述扫描振镜侧面均安装有一个非接触式高度测量传感器，用于测量所述非接触式高度测量传感器零位与所述玻璃基板之间的距离，或非接触式高度测量传感器零位与所述轮廓仪之间的距离；当所述扫描振镜照射在轮廓仪上的激光束光斑光强最大时，所述非接触式高度测量传感器测量轮廓仪的高度，标定最佳焦点；所述基板台上还设有基板台高度测量传感器，用于测量所述玻璃基板与所述大理石底座之间的距离，并当所述扫描振镜照射在轮廓仪上的激光束光斑光强最大时，所述基板台高度测量传感器测量所述玻璃基板与大理石底座之间的高度，标定基板台参考高度；所述基板台和扫描振镜联合调整，使各扫描振镜最佳焦点位于所述玻璃基板上。