[发明专利]一种MEMS麦克风元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201510288675.5 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104902414A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;马铁良 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风元件，包括：基底，基底上设置有上下贯通的第一开孔和第二开孔；并列设置于基底上方的第一电容和第二电容，第一电容设置在第一开孔之上，第二电容设置在第二开孔之上；第一电容包括位于下方的第一背极板以及位于上方的与第一背极板相对的第一振膜，第二电容包括位于上方的第二背极板以及位于下方的与第二背极板相对的第二振膜；第一电容和第二电容构成一对差分电容。本发明实现了差分电容式MEMS麦克风，有利于滤除外界电磁和噪声干扰，提高输出信号的信噪比和收音质量。本发明还公开了一种制造MEMS麦克风元件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风元件，其特征在于，包括：基底(1)，所述基底(1)上设置有上下贯通的第一开孔(101)和第二开孔(102)；并列设置于所述基底(1)上方的第一电容(C1)和第二电容(C2)，所述第一电容(C1)设置在所述第一开孔(101)之上，所述第二电容(C2)设置在所述第二开孔(102)之上；所述第一电容(C1)包括位于下方的第一背极板(12)以及位于上方的与第一背极板(12)相对的第一振膜(11)，所述第二电容(C2)包括位于上方的第二背极板(22)以及位于下方的与第二背极板(22)相对的第二振膜(21)；所述第一电容(C1)和第二电容(C2)共同构成差分电容。
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