[发明专利]一种原位测试LED应力的拉曼测试系统及其测试方法

摘要

一种原位测试LED应力的拉曼测试系统及其测试方法，测试系统设有激光器、光路系统、长波通或带通滤波片、拉曼滤镜、显微镜、CCD；长波通或带通滤波片设在拉曼光路中的显微镜光路前端、显微镜光路后端、拉曼滤镜前端、拉曼滤镜后端或CCD前端等，并与波长远离LED发光光谱的激光器结合。测试方法首先采用显微镜进行调节样品的位置，使样品处理聚焦状态；关闭显微镜的光源，打开激光器，激光器用来发射拉曼测试需要的激光光线，光路系统传输激光的输入和输出信号，反射光线经过拉曼滤镜进行信号处理和过滤，最终的信号被CCD所探测。提升拉曼信号的信噪比，实现不同电流注入条件下的LED应力的原位测试。

主权项

一种原位测试LED应力的拉曼测试系统，设有激光器、光路系统、拉曼滤镜、显微镜、CCD、长波通或带通滤波片，其特征在于所述长波通或带通滤波片设在光路系统中的显微镜光路前端、显微镜光路后端、拉曼滤镜前端、拉曼滤镜后端或CCD前端；所述长波通或带通滤波片采用波长>600nm的长波通滤波片；所述激光器的波长必须远离GaN基LED的电致发光光谱区域，激光器采用波长大于600nm的激光器；光路系统包括多个透镜以及多个反光镜，该光路系统首先将激光器发射的激光光线传输到样品表面，随后再将样品表面的反射光线输出，该反射光线经过拉曼滤镜进行信号处理和过滤，最终的信号被CCD所探测。