[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置。成膜装置包括：真空容器；以及旋转台，其设于该真空容器内。另外，成膜装置包括：凹部，其以能收纳所述基板的方式形成于所述旋转台的一面侧；以及载置部，其用于在该凹部内对基板的比周缘部靠中央的部位进行支承。成膜装置还包括：连通路径，其以在凹部的自凹部的中央看来位于与所述旋转台的中心相反的一侧的端部区域将所述旋转台的外侧的空间和所述凹部内的位于载置部的周围的空间相连通的方式形成于该凹部的壁部，以便将在因所述旋转台的旋转而产生的离心力的作用下在所述凹部内偏向于所述旋转台的外周侧的气体排出；以及排气口，其用于对其所述真空容器内进行真空排气。

主权项

1.一种成膜装置，其特征在于，该成膜装置包括：真空容器；旋转台，其设于该真空容器内；凹部，其以能收纳基板的方式形成于所述旋转台的一面侧；载置部，其用于在该凹部内对基板的比周缘部靠中央的部位进行支承；连通路径，其以在凹部的自凹部的中央看来位于与所述旋转台的中心相反的一侧的端部区域将所述旋转台的外侧的空间和所述凹部内的位于载置部的周围的空间相连通的方式形成于该凹部的壁部；以及排气口，其用于对其所述真空容器内进行真空排气，在将连结凹部的中心和旋转台的旋转中心的直线与旋转台的外周相交的点设为P时，所述凹部的端部区域是自凹部的中心相对于点P分别向左右形成各30度的张角的直线之间的区域。