[发明专利]一种三自由度精密激光检测装置

摘要

本发明公开了一种三自由度精密激光检测装置，包括直角镜架组件、X向过渡镜架组件、Y向过渡镜架组件、激光尺A、激光尺B及激光尺C；直角镜架组件设置在运动平台上，所述运动平台设置在待测件固定底座上，所述待测件固定底座的一个侧面通过Y向过渡镜架组件与激光尺C相连，和与激光尺C相连的固定底座的一个侧面相邻的另一个固定底座的侧面通过X向过渡镜架组件分别与激光尺B及激光尺A相连。本方案采用四倍频(即光程差为移动距离的四倍)激光尺作为测量元件，经光路改变后因增加直角镜可实现光程差倍增，即光程差为移动距离的八倍，使得测量分辨率提高一倍，测量精度更高。

主权项

一种三自由度精密激光检测装置，其特征是，包括：直角镜架组件、X向过渡镜架组件、Y向过渡镜架组件、激光尺A、激光尺B及激光尺C；所述直角镜架组件设置在运动平台上，所述运动平台设置在待测件固定底座上，所述待测件固定底座的一个侧面通过Y向过渡镜架组件与激光尺C相连，和与激光尺C相连的固定底座的一个侧面相邻的另一个固定底座的侧面通过X向过渡镜架组件分别与激光尺B及激光尺A相连；三个不同的入射光路分别经过对应的激光尺、过渡镜架组件及直角镜架组件形成参考光束及目标光束，对参考光束及目标光束进行处理得到相应测点的运动距离s1、s2及s3，根据该运动距离s1、s2及s3得运动平台z向转角θz，运动平台X向位移x,运动平台Y向运动位移y；所述三个不同的入射光路分别经过对应的激光尺、过渡镜架组件及直角镜架组件形成参考光束及目标光束，对参考光束及目标光束进行处理得到相应测点的运动距离s1、s2及s3，具体为；入射光路经过激光尺A、直角镜架组件、X向过渡镜架组件形成参考光束及目标光束，参考光束与目标光束相互干涉经感光元件处理可实现测得A点延X方向运动距离为s1；入射光路经过激光尺B、直角镜架组件、X向过渡镜架组件形成参考光束及目标光束，参考光束与目标光束相互干涉经感光元件处理可实现测得B点延X方向运动距离为s2；入射光路经过激光尺C、直角镜架组件、Y向过渡镜架组件形成参考光束及目标光束，参考光束与目标光束相互干涉经感光元件处理可实现测得C点延Y方向运动距离为s3。