[发明专利]相位掩模板切换装置有效
| 申请号： | 201510289804.2 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN105204295B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 叶青;王迪;李璇;皮浩洋;陈高庭;蔡海文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;南京聚科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B6/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 用于相位掩模板写入法刻写光栅的阵列型相位掩模板切换装置与阶梯型相位掩模板切换装置，由相位掩模板夹具或相位掩模板夹具组合，两个一维电控位移平台、转接架与控制系统构成，与在先技术相比，本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作，可实现光纤光栅的自动化刻写，并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 模板 切换 装置 | ||
【主权项】：
一种用于相位掩模板写入法刻写光栅的阶梯型相位掩模板切换装置，特征在于其构成包括相位掩模板夹具组合(4)、相位掩模板组合转接架(5)、一维电控位移平台组合(2)和控制系统(3)，所述的相位掩模板夹具组合(4)包括多个小夹具和一个相位掩模板固定架(41)，所述的相位掩模板固定架(41)是一个阶梯状结构，把第一个小夹具(43)放在相位掩模板固定架(41)的最上面的台阶上，将内六角螺钉(42)旋入第一个小夹具(43)上面的两个螺纹孔(431)中，并且旋紧，将第二个小夹具(44)放在相位掩模板固定架(41)第二个台阶上，第二个小夹具(44)上面的两个螺纹孔(441)与第一个小夹具(41)下面的两个螺纹孔(432)对准，旋入并旋紧内六角螺钉(42)，重复以上工作，直到最后一个小夹具(45)放在最下面的台阶上并固定最后一个小夹具(45)上部后，在最后一个小夹具(45)下面的两个螺纹孔(452)中旋入并旋紧内六角螺钉(42)，所述的相位掩模板夹具组合(4)最上面的小夹具(43)上有两条基准线(433)，所述的小夹具(43)由底板(434)放入夹具边框(435)背面的凹槽内并用螺钉固定所构成，所述的底板(434)中间有一个矩形透光孔，所述的一维电控位移平台组合(2)是由转接架(23)将第一一维电控位移平台(21)竖直固定到第二一维电控位移平台(22)的滑块(221)上所构成的结构，保证滑块(211)所处的平面与滑块(221)移动的方向平行，所述的相位掩模板固定架(41)通过相位掩模板组合转接架(5)竖直固定在第一一维电控位移平台(21)的滑块(211)上，相位掩模板固定架(11)的侧面与第一一维电控位移平台(21)的滑块(211)在同一平面上。
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