[发明专利]面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法有效
申请号: | 201510290056.X | 申请日: | 2015-05-29 |
公开(公告)号: | CN105004334B | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 张卫平;唐健;刘亚东;汪濙海;邢亚亮;孙殿竣;陈文元 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01C19/5691 | 分类号: | G01C19/5691;G01C25/00;B81B7/00;B81C1/00 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人: | 徐红银,郭国中 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法,包括设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架,本发明采用面外驱动和检测方法,可实现面外力与面内位移之间的相互转换,便于检测垂直于基底方向的科氏效应;本发明采用电磁式驱动和检测方法,无需制作静电式所需的微小电容间隙,同时可避免寄生电容、静电吸附等问题;本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测,便于制作和实现;本发明体积小,成本低,工艺简单,可实现批量化生产。 | ||
搜索关键词: | 外电 半球形 陀螺仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种面外电磁式半球形微陀螺仪,其特征在于,包括:设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、圆柱形支撑柱、多个均匀分布式平面线圈、多个均匀分布式永磁体、以及凹形支架;其中:所述圆柱形支撑柱的上端与所述微型半球形谐振子相连,下端与所述单晶硅基底相连;所述圆柱形支撑柱和所述微型半球形谐振子位于所述单晶硅基底的半球形凹槽内;多个平面线圈均匀地分布于所述微型半球形谐振子的上表面;多个永磁体均匀地布置在所述凹形支架的下表面凹槽内,并位于平面线圈的正上方,各永磁体与正下方平面线圈的距离相同;所述凹形支架的下表面与所述单晶硅基底的上表面相连;所述单晶硅基底的半球形凹槽、所述微型半球形谐振子、所述圆柱形支撑柱、所述平面线圈、所述永磁体以及所述凹形支架的中心对称轴重合。
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