[发明专利]面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510290056.X 申请日: 2015-05-29
公开(公告)号: CN105004334B 公开(公告)日: 2017-12-15
发明(设计)人: 张卫平;唐健;刘亚东;汪濙海;邢亚亮;孙殿竣;陈文元 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01C19/5691 分类号: G01C19/5691;G01C25/00;B81B7/00;B81C1/00
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司31236 代理人: 徐红银,郭国中
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法,包括设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架,本发明采用面外驱动和检测方法,可实现面外力与面内位移之间的相互转换,便于检测垂直于基底方向的科氏效应;本发明采用电磁式驱动和检测方法,无需制作静电式所需的微小电容间隙,同时可避免寄生电容、静电吸附等问题;本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测,便于制作和实现;本发明体积小,成本低,工艺简单,可实现批量化生产。
搜索关键词: 外电 半球形 陀螺仪 及其 制备 方法
【主权项】:
一种面外电磁式半球形微陀螺仪,其特征在于,包括:设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、圆柱形支撑柱、多个均匀分布式平面线圈、多个均匀分布式永磁体、以及凹形支架;其中:所述圆柱形支撑柱的上端与所述微型半球形谐振子相连,下端与所述单晶硅基底相连;所述圆柱形支撑柱和所述微型半球形谐振子位于所述单晶硅基底的半球形凹槽内;多个平面线圈均匀地分布于所述微型半球形谐振子的上表面;多个永磁体均匀地布置在所述凹形支架的下表面凹槽内,并位于平面线圈的正上方,各永磁体与正下方平面线圈的距离相同;所述凹形支架的下表面与所述单晶硅基底的上表面相连;所述单晶硅基底的半球形凹槽、所述微型半球形谐振子、所述圆柱形支撑柱、所述平面线圈、所述永磁体以及所述凹形支架的中心对称轴重合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学,未经上海交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510290056.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top