[发明专利]微型非本征光纤法珀压力传感器

摘要

本发明公开的一种微型非本征光纤法珀压力传感器，旨在提供一种性能稳定、能够提高干涉信号强度，减少噪声，并能消除硅片与玻璃热膨胀差异产生的翘曲，整体强度大、成本低的压力传感器，本发明通过下述技术方案予以实现：压力受感芯体由制有台阶孔凹腔的高硼硅玻璃片4、高硼硅玻璃片10和夹装在上述高硼硅玻璃片4与高硼硅玻璃片10之间的硅片6构成的三层结构组成，形成被硅片隔离的法珀腔7和通气腔5双层腔体结构，压力受感芯体装配在光纤插芯端面并连接在一起。本发明硅片两侧的通气腔和法珀腔在硅片上施加不同的气压，法珀腔内压力基本保持恒定，检测出硅片的形变量即可实现外界压力检测。

主权项

1.一种微型非本征光纤法珀压力传感器，包括与光纤插芯（2）的端面平齐的光纤（3），压力受感芯体（1），其特征在于：压力受感芯体由制有台阶孔凹腔的第一高硼硅玻璃片（4）与第二高硼硅玻璃片（10）和夹装在上述第一高硼硅玻璃片（4）与第二高硼硅玻璃片（10）之间的硅片（6）构成，并且第一高硼硅玻璃片（4）上刻蚀有通气腔（5），通气腔（5）底部制作有贯穿的通孔（9），所组成的三层结构形成了被硅片（6）隔离的法珀腔（7）和通气腔（5）的双层腔体结构，压力受感芯体装配在光纤插芯端面并连接在一起。