[发明专利]光纤法珀温度传感器在审
申请号: | 201510290270.5 | 申请日: | 2015-05-31 |
公开(公告)号: | CN106289570A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 徐海军;薛磊;梅运桥;孙波;熊菠 | 申请(专利权)人: | 成都凯天电子股份有限公司 |
主分类号: | G01K11/32 | 分类号: | G01K11/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610091*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提出的一种光纤法珀温度传感器,包括温度受感芯体7、光纤插芯8、多模光纤9。多模光纤插入并固定在光纤插芯孔内,光纤端面与光纤插芯端面平齐;温度受感芯体装配在光纤插芯端面连接在一起,温度受感芯体7制有通过硅片3分隔,封装有一定气体的温度腔和真空的法珀腔4,硅片3两侧的气压差等于温度腔2内的气体压力P,法珀腔4腔长y与温度腔2内气体压力P成正比;当温度腔内气体受温度影响发生热胀冷缩时,气体状态随温度变化,改变硅片两侧的气压差,硅片发生形变,将温度腔2内的气体气压温度值转换为法珀腔4可直接测量的法珀腔腔长值,通过法珀干涉原理检测出硅片的形变量实现温度检测。 | ||
搜索关键词: | 光纤 温度传感器 | ||
【主权项】:
一种光纤法珀温度传感器,包括温度受感芯体(7)、光纤插芯(8)、多模光纤(9),其特征在于:多模光纤插入并固定在光纤插芯孔内,光纤端面与光纤插芯端面平齐,温度受感芯体装配在光纤插芯端面并中心对齐;温度受感芯体(7)的硅片(3)两侧的气压差等于温度腔(2)内的气体压力P,法珀腔(4)腔长y与温度腔(2)内气体压力P成正比;当温度腔内气体受温度影响发生热胀冷缩时,气体状态随温度变化,改变硅片两侧的气压差,硅片发生形变,将温度腔(2)内的气体气压温度值转换为法珀腔(4)可直接测量的法珀腔腔长值,通过法珀干涉原理检测出硅片的形变量实现温度检测。
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