[发明专利]一种吸收腔式激光击穿检测装置

摘要

一种吸收腔式激光击穿检测装置，包括吸收腔、激发光源、检测光源、声光调制器、光探测器以及控制工作过程的电学控制系统；本发明装置将激光诱导击穿技术与光衰荡技术相结合，在一个衰荡腔中放置待检测样品，激发光聚焦入射到待检测样品上，待检测样品由于吸热而形成纳米粒子云团并扩散到腔中，检测光在衰荡腔两端高反镜间来回反射并不断被相应的物质吸收，通过在腔外的探测器探测出射的信号，可以推算出物质的含量。本发明结合激光诱导击穿和光衰荡技术，利用高反射率的反射镜，检出极限可以达到ppb量级；激发光照射前吸收腔抽真空，可防止空气中其它成分的干扰，并能减少谱线加宽，使被探测的谱线容易区分，提高了灵敏度。

主权项

一种吸收腔式激光击穿检测装置，包括检测光路系统和电学控制系统，其特征在于：所述检测光路系统包括吸收腔(1)、激发光源(2)、检测光源(3)、声光调制器(4)和光强探测器(5)，其中：所述吸收腔(1)包括腔体、前高反镜(1‑1)、后高反镜(1‑2)以及样品池；腔体与前后端的前高反镜(1‑1)和后高反镜(1‑2)组成密闭的衰荡腔，前高反镜(1‑1)为输入镜，后高反镜(1‑2)为输出镜；腔体中段上方有透光窗口，样品池位于腔体中，与所述透光窗口相对；腔体留有可关闭的气口(1‑3)；所述激发光源(2)的出射光路上设置激发光隔离器(2‑2)和激发光聚焦透镜(2‑3)，激发光聚焦透镜(2‑3)的出射光路照准吸收腔(1)腔体内的样品池；所述检测光源(3)为连续可调谐激光源，其出射的检测光(B)自前高反镜(1‑1)入射吸收腔(1)，再从后高反镜(1‑2)出射到达光强探测器(5)；检测光源(3)与前高反镜(1‑1)之间光路中设置检测光隔离器(3‑2)和声光调制器(4)，前高反镜(1‑1)与光强探测器(5)之间光路中设置检测光聚焦透镜(5‑1)；所述电学控制系统包括激发光控制器(2‑1)、检测光控制器(3‑1)、触发器(6)和主机(7)，其中：所述激发光控制器(2‑1)连接控制激发光源(2)；检测光控制器(3‑1)连接控制检测光源(3)；所述主机(7)连接控制激发光控制器(2‑1)和检测光控制器(3‑1)；触发器(6)信号输入端连接光强探测器(5)输出端，信号输出端分别连接声光调制器(4)和主机(7)。