[发明专利]一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构在审

专利信息
申请号: 201510292887.0 申请日: 2015-06-02
公开(公告)号: CN106299061A 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 张晓龙;徐晓丽;胥真奇;赖志豪;曾颀尧;林政志 申请(专利权)人: 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/32;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226015 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构,涉及发光二极管外延技术领域。本发明从下至上依次包括蓝宝石衬底、AlN缓冲层、U型GaN层、N型GaN层、有源区、电子阻挡层、P型GaN层和P‑InGaN层。其结构特点是,所述N型GaN层和有源区之间置有电流扩展层,电流扩展层包括掺杂Si的AlxGa1‑xN层和InGaN层。AlxGa1‑xN层和InGaN层交替生长且交替生长周期为3‑6个周期。本发明是通过在现有外延结构中插入电流扩展层,以提高电子注入均匀性、阻挡底层位错缺陷的延伸,从而提高辐射复合几率,达到增强LED内量子效率的目的。
搜索关键词: 一种 电流 扩展 led 外延 结构
【主权项】:
一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构,它从下至上依次包括蓝宝石衬底(1)、AlN缓冲层(2)、U型GaN层(3)、N型GaN层(4)、有源区(6)、电子阻挡层(7)、P型GaN层(8)和P‑InGaN层(9),其特征在于:所述N型GaN层(4)和有源区(6)之间置有电流扩展层(5),电流扩展层(5)包括掺杂Si的AlxGa1‑xN层(51)和InGaN层(52),AlxGa1‑xN层(51)和InGaN层(52)交替生长且交替生长周期为3‑6个周期。
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