[发明专利]一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构在审
申请号: | 201510292887.0 | 申请日: | 2015-06-02 |
公开(公告)号: | CN106299061A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 张晓龙;徐晓丽;胥真奇;赖志豪;曾颀尧;林政志 | 申请(专利权)人: | 南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/32;H01L33/00 |
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地址: | 226015 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构,涉及发光二极管外延技术领域。本发明从下至上依次包括蓝宝石衬底、AlN缓冲层、U型GaN层、N型GaN层、有源区、电子阻挡层、P型GaN层和P‑InGaN层。其结构特点是,所述N型GaN层和有源区之间置有电流扩展层,电流扩展层包括掺杂Si的AlxGa1‑xN层和InGaN层。AlxGa1‑xN层和InGaN层交替生长且交替生长周期为3‑6个周期。本发明是通过在现有外延结构中插入电流扩展层,以提高电子注入均匀性、阻挡底层位错缺陷的延伸,从而提高辐射复合几率,达到增强LED内量子效率的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 电流 扩展 led 外延 结构 | ||
【主权项】:
一种带电流扩展层的蓝光LED外延结构,它从下至上依次包括蓝宝石衬底(1)、AlN缓冲层(2)、U型GaN层(3)、N型GaN层(4)、有源区(6)、电子阻挡层(7)、P型GaN层(8)和P‑InGaN层(9),其特征在于:所述N型GaN层(4)和有源区(6)之间置有电流扩展层(5),电流扩展层(5)包括掺杂Si的AlxGa1‑xN层(51)和InGaN层(52),AlxGa1‑xN层(51)和InGaN层(52)交替生长且交替生长周期为3‑6个周期。
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