[发明专利]一种感光性树脂组合物及其应用有效
申请号: | 201510295533.1 | 申请日: | 2015-06-02 |
公开(公告)号: | CN106324993B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 钱晓春;胡春青;于培培;刘文龙 | 申请(专利权)人: | 常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/032 | 分类号: | G03F7/032;G03F7/033;G03F7/004 |
代理公司: | 11401 北京金智普华知识产权代理有限公司 | 代理人: | 皋吉甫 |
地址: | 213011 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种感光性树脂组合物,包含(A)粘合剂聚合物、(B)具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素。它具有良好的曝光灵敏度和显影性,在体系含有遮光剂或曝光剂量很低的情况下,固化后图案完整且显影清晰,分辨率高,与基板密合性优异,适用于制作感光性树脂层压体和在基板上形成抗蚀图案。 | ||
搜索关键词: | 一种 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,包含下列组分:/n(A)粘合剂聚合物;/n(B)具有至少一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物,该组分包含具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物;/n(C)光聚合引发剂;/n(D)增感色素;/n其中,作为(D)组分的增感色素含有吡唑啉化合物,且所述吡唑啉化合物选自通式(a)和/或(b)所示结构的化合物:/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司,未经常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510295533.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:冷媒发动机装置
- 下一篇:光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法