[发明专利]集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器及微透镜阵列的制备方法。背照式紫外焦平面探测器由以下几个部分组成：紫外光敏元阵列芯片、读出电路、混成互连铟柱、微透镜阵列。微透镜阵列在紫外光敏元阵列芯片的宝石片衬底上采用光刻胶光刻、高温成型、等离子体刻蚀等步骤加工形成。本发明的优点是：集成微透镜阵列之后，紫外光敏元的面积可以大幅度减少，从而使紫外光敏元具有高的零偏压动态电阻R₀和小的结电容，从而有利于减小读出电路的噪声以及提高紫外探测器的探测率。

主权项

一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器，包括紫外光敏元阵列芯片(1)、读出电路(2)、混成互连铟柱(3)、微透镜阵列(4)，宝石片衬底(5)，其特征是：紫外光敏元阵列芯片(1)通过混成互连铟柱(3)和读出电路(2)连接，微透镜阵列(4)集成在紫外光敏元阵列芯片(1)的宝石片衬底(5)上的紫外辐照入射面上；所述的紫外光敏元是pn结二极管、p‑i‑n结二极管、肖特基结二极管、多量子阱二极管或雪崩二极管。