[发明专利]半导体接口单元的接口密封装置

摘要

本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产技术领域，具体地说是一种半导体接口单元的接口密封装置。该接口密封装置设置于与TRACK及光刻机连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板、密封架及驱动装置，其中密封挡板设置于接口单元的接口部边缘，驱动装置设置于接口单元的框架上，密封架设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置连接，密封架通过驱动装置的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架由接口部伸出、并内侧端与密封挡板抵接时，外侧端与TRACK和光刻机抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机之间的缝隙。本发明防止外部空气进入到设备内部，保持设备内部洁净环境，确保晶圆处理过程在满足洁净度的环境中进行。

主权项

1.一种半导体接口单元的接口密封装置，其特征在于，该接口密封装置设置于与涂胶显影机TRACK及光刻机(7)连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板(4)、密封架(5)及驱动装置(6)，其中密封挡板(4)设置于接口单元的接口部边缘，所述驱动装置(6)设置于接口单元的框架(1)上，所述密封架(5)设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置(6)连接，所述密封架(5)通过驱动装置(6)的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架(5)由接口部伸出、并内侧端与密封挡板(4)抵接时，外侧端与涂胶显影机TRACK和光刻机(7)抵接，从而密封接口单元两侧接口部与涂胶显影机TRACK和光刻机(7)之间的缝隙；所述密封架(5)包括密封架基板(501)、密封架折弯边(502)及密封橡胶条(503)，其中密封架基板(501)的一侧沿周向设有密封架折弯边(502)，所述密封橡胶条(503)设置于密封架折弯边(502)上，所述驱动装置(6)与密封架基板(501)连接；所述密封架(5)通过驱动装置(6)的驱动由接口单元两侧接口部伸出，使密封橡胶条(503)与涂胶显影机TRACK和光刻机(7)的外表面接触，同时所述密封架基板(501)的外表面与密封挡板(4)的内表面抵接。