[发明专利]一种原子力探针位姿调节装置

摘要

本发明公开了一种原子力探针位姿调节装置,包括探针座，调节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定；调节机构包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件、第四调节部件以及第五调节部件，分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左右水平、上下旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节；连接头用于与原子力探针测量系统的显微物镜相连。本发明能够实现原子力探针任意姿态的细微调节，各个调节动作相互独立，互不影响，提高了探针姿态的调节精度；且能够对调节后的位姿进行锁定，使其保持稳定，进一步保证原子力探针测量系统的稳定性和精度。

主权项

一种原子力探针位姿调节装置，其用于基于白光干涉的原子力探针扫描显微镜系统，其特征在于，该装置包括由下至上依次设置的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件、第四调节部件以及第五调节部件，其中，第一调节部件包括探针支架(4)、第一调节部(2，3)，所述探针支架(4)用于固定承载原子力探针的探针座(1)，所述第一调节部(2，3)分别挤压所述探针支架(4)右端的内外侧，由此实现所述原子力探针的里外水平偏摆调节与锁定；第二调节部件包括固定部(5)、第一U型架(8)及第二调节部(7)，所述固定部(5)与所述第一U型架(8)形成固定所述第一调节部件的空间，所述第二调节部(7)在上述空间与所述第一调节部件配合，带动其左右水平调节从而实现所述原子力探针的左右水平调节；第三调节部件包括第三调节部(6，9)，其分别挤拉所述第一U型架(8)上下臂由此实现所述原子力探针上下旋转的调节；第四调节部件包括第二U型架(10)、第四调节部(14，16)，所述第二U型架(10)的下臂与所述第二调节部件中第一U型架(8)的上臂固定，所述第四调节部(14，16)通过调节挤拉所述第二U型架(10)的下臂，从而实现所述原子力探针上下俯仰的调节与锁定；第五调节部件包括穿设于所述第二U型架(10)上臂的所述连接头(11)、第五调节部(15)，所述连接头(11)与所述扫描显微镜系统中的显微镜(17)固定，所述第五调节部(15)与所述连接头(11)下部配合，调节所述第五调节部(15)带动所述原子力探针位姿调节装置上下调节，从而实现所述原子力探针的上下竖直调节与锁定。