[发明专利]一种用于读取电子熔丝的参考单元在审
申请号: | 201510299007.2 | 申请日: | 2015-06-03 |
公开(公告)号: | CN104882167A | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 黄雪靑 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C17/16 | 分类号: | G11C17/16 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一用于读取电子熔丝的参考单元,通过若干个大小材质均相同的电阻串联组成一行单元,并利用该若干个行单元并联以组成一个参考单元,通过本技术方案,提高了参考单元的稳定性,增加了参考单元对于缺陷的容忍度,从而提高了良率;同时,由于参考单元的稳定性得到增强,更有利于测试出出现故障的电子熔丝,从而提高产品的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 读取 电子 参考 单元 | ||
【主权项】:
一种用于读取电子熔丝的参考单元,其特征在于,所述参考单元与连接有电子熔丝的比较单元连接,所述参考单元包括若干并联的行单元:以及每个所述行单元均包括依次串联的若干电阻;并且所述比较单元通过比较所述电子熔丝与所述参考单元之间电阻值的大小,以对所述电子熔丝进行读取操作。
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