[发明专利]WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜的制造方法

摘要

一种WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜的制造方法，采用离子束辅助沉积方法在基材的表面形成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜，包括基材的预处理；生成固体润滑薄膜，将所述基材放入真空室内并抽真空；分别采用低能离子源和高能离子源交替对所述基材进行表面改性，以在所述基材的表面生成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜，所述WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜的膜层中WS为10.8；将表面生成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜后的所述基材放入丙酮溶液中清洗后烘干，并将烘干后的所述基材真空密封封存。

主权项

一种WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，采用离子束辅助沉积方法在基材的表面形成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜，包括如下步骤：S100、基材的预处理，对待加工的基材进行预处理，去除附着在所述基材表面的油脂、锈点和杂质；S200、生成固体润滑薄膜，进一步包括：S201、将所述基材放入真空室内，所述真空室与离子束辅助沉积装置连接，将所述真空室抽真空；S202、分别采用低能离子源和高能离子源交替对所述基材进行表面改性，以在所述基材的表面生成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜，所述离子束辅助沉积装置的气源采用Ar气，所述离子束辅助沉积装置的非平衡磁控溅射采用WS2靶，所述离子束辅助沉积装置的离子反冲注入的离子源采用Ag靶；其中，所述WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜的膜层中W:S为1:0.8，具有WS2物相存在，Ag含量随所述膜层的深度呈现周期性波动，在靠近每次沉积的WS2层上端附近受注入层影响出现Ag浓度峰，随后Ag浓度下降至1％‑5％，在到达下一层WS2时，又出现一Ag浓度峰，依次循环；所述步骤S202进一步包括：S2021、低能离子源加工，采用所述低能离子源对所述基材表面进行清洗，所述真空室通入Ar气使其工作气压为5Pa‑10Pa，所述低能离子源的负偏压至‑400V‑‑1000V，进行辉光发电，清洗所述基材表面；S2022、高能离子源加工，交替进行溅射沉积和离子反冲注入，通过溅射沉积WS2薄膜，再利用高能Ag离子束轰击WS2膜层，通过控制每层WS2中Ag的浓度和注入深度，实现WS2/Ag膜层体系中的梯度功能变化；S300、基材的封存，将表面生成WS2/Ag复合梯度固体润滑薄膜后的所述基材放入丙酮溶液中清洗后烘干，并将烘干后的所述基材真空密封封存。