[发明专利]一种二相流雾化清洗装置

摘要

本发明公开了一种二相流雾化清洗装置，在移动式主体上设有一个清洗药液入口接头和两个高压气体入口接头，在主体下方设有一个中央气体喷嘴，在中央气体喷嘴下方围绕其垂直中轴线对称下倾设置有若干雾化喷嘴，各雾化喷嘴的中轴线在中央气体喷嘴的中轴线上交汇于一点，每个雾化喷嘴通过一个Laval喷管同时连接清洗药液入口接头和一个高压气体入口接头，中央气体喷嘴通过一个Laval喷管连接另一个高压气体入口接头，通过合理设计二相流雾化喷嘴的结构，可在交汇处实现多级雾化，有效减小雾化颗粒的尺寸及其携带的能量，防止对晶圆表面图形造成损伤。

主权项

一种二相流雾化清洗装置，用于对放置在清洗设备旋转平台上的晶圆进行雾化清洗，其特征在于，所述清洗装置包括：主体，可动悬设于所述清洗设备的旋转平台上方或斜上方；第一～第三入口接头，设于所述主体上，所述第一入口接头用于通入清洗药液，所述第二、第三入口接头用于分别通入高压气体；喷嘴，设于所述主体下方，包括一中央气体喷嘴和若干雾化喷嘴，各所述雾化喷嘴在所述中央气体喷嘴下方围绕其垂直中轴线对称下倾设置，各所述雾化喷嘴的中轴线在所述中央气体喷嘴的中轴线上交汇于一点，每个所述雾化喷嘴通过一个第一Laval喷管同时连接第一、第二入口接头，所述中央气体喷嘴通过一个第二Laval喷管连接第三入口接头；其中，由所述第一入口接头通入的清洗药液和所述第二入口接头通入的高压气体，在各所述第一Laval喷管的入口处汇聚后形成气液二相流第一级雾化药液，并经所述第一Laval喷管加速后从各所述雾化喷嘴喷出，在交汇处产生碰撞后形成第二级雾化药液，同时，由所述第三入口接头通入的高压气体经所述第二Laval喷管加速后从所述中央气体喷嘴喷出，在交汇处与第二级雾化药液产生碰撞后形成第三级雾化药液，并加速向下运动至晶圆表面，以进行移动雾化清洗。