[发明专利]一种晶圆自动分片装载机

摘要

本发明公开了一种晶圆自动分片装载机，包括上料台、分片机构、传送机构、滑片坡道、载具升降机构和晶圆载具保存水箱；上料台位于传送机构起始端上方，分片机构位于传送机构中部上方，滑片坡道上端连接传送结构，下端连接载具升降机构；分片机构包括一个主动轮和两个从动轮，主动轮与两个从动轮由一条同步带连接；传送机构包括一个主动轮和两个从动轮，主动轮与两个从动轮由两条同步带连接；传送机构的同步带与上料台的出料口之间有一条窄缝，载具升降机构主体包括支撑丝杠、伺服电机、载具放置平台，伺服电机驱动支撑丝杠支撑载具放置平台；滑动坡道的下端对准载具卡槽。本发明可实现设备自动分片和装入晶圆载具，减少人工操作，提高工作效率。

主权项

1.一种晶圆自动分片装载机，其特征在于，它包括上料台、分片机构、传送机构、滑片坡道、载具升降机构和晶圆载具保存水箱；其中上料台位于传送机构的起始端上方，分片机构位于传送机构的中部上方，滑片坡道的上端连接传送结构，下端连接载具升降机构；分片机构包括一个主动轮和两个从动轮，主动轮与两个从动轮由一条同步带连接；传送机构包括一个主动轮和两个从动轮，主动轮与两个从动轮由两条同步带连接；传送机构的同步带与上料台的出料口之间有一条窄缝，载具升降机构主体包括支撑丝杠、伺服电机、载具放置平台，伺服电机驱动支撑丝杠，支撑丝杠支撑载具放置平台；滑动坡道的下端对准载具卡槽；所述窄缝的宽度仅容一片晶圆通过，或者所述窄缝的宽度可供叠放的两片晶圆通过，所述分片机构的同步带运行速度小于传送机构的同步带运行速度。